新加坡科技研究局推出工業(yè)級(jí)200毫米碳化硅開放研發(fā)生產(chǎn)線
5月23日，新加坡科技研究局（以下簡稱A-STAR）推出工業(yè)級(jí)200毫米碳化硅開放研發(fā)生產(chǎn)線。
A-STAR是新加坡政府下屬的主要科研機(jī)構(gòu)，成立于1991年，隸屬于新加坡貿(mào)工部。A-STAR此次推出的研發(fā)線由ASTAR微電子研究所（IME）運(yùn)營，整合了從材料生長、缺陷分析到器件制造與測試的完整流程，旨在解決SiC技術(shù)開發(fā)中高成本、技術(shù)分散等挑戰(zhàn)，加速其在電動(dòng)汽車、電網(wǎng)及數(shù)據(jù)中心等高功率應(yīng)用領(lǐng)域的商業(yè)化進(jìn)程。
該研發(fā)線將與關(guān)鍵設(shè)備OEM和材料供應(yīng)商ASM、centrotherm（商先創(chuàng)）法國半導(dǎo)體材料公司Soite等建立密切合作。其中，centrotherm提供高溫退火與氧化設(shè)備，Soitec則貢獻(xiàn)其SmartSiC™工程基板技術(shù)，以提升器件性能與可靠性。
A-STAR還公布了另外兩項(xiàng)舉措：“Lab-in-Fab”第二階段項(xiàng)目和“EDA Garage”計(jì)劃。
“Lab-in-Fab”第二階段項(xiàng)目的合作伙伴有意法半導(dǎo)體、ULVAC和新加坡國立大學(xué)，該項(xiàng)目專注于利用新加坡的研發(fā)生態(tài)系統(tǒng)來加速新的壓電材料和設(shè)備的開發(fā)。
“EDA Garage”計(jì)劃將為當(dāng)?shù)毓荆貏e是初創(chuàng)企業(yè)和中小企業(yè)提供具有成本效益的高級(jí)電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化（EDA）工具，促進(jìn)當(dāng)?shù)氐陌雽?dǎo)體公司發(fā)展。
此外，為了啟動(dòng)半導(dǎo)體培訓(xùn)和研發(fā)方面的國際合作，A-STAR IME與主要合作伙伴簽署了諒解備忘錄（MOU），為實(shí)習(xí)項(xiàng)目、聯(lián)合研究項(xiàng)目以及通過培訓(xùn)和知識(shí)共享活動(dòng)進(jìn)行知識(shí)交流鋪平了道路。A-STAR還正式與GlobalFoundries(格羅方德半導(dǎo)體)和Nearfield Instruments（荷蘭芯片檢測設(shè)備商）建立了合作伙伴關(guān)系，以擴(kuò)大先進(jìn)封裝的能力，并推動(dòng)半導(dǎo)體計(jì)量技術(shù)的創(chuàng)新。
（來源：微電子制造/JSSIA整理）