盛美首臺高產(chǎn)出KrF工藝前道涂膠顯影設(shè)備交付
9月8日，盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（以下簡稱“盛美上海”）宣布推出首款自主研發(fā)的高產(chǎn)出KrF工藝前道涂膠顯影（Track）設(shè)備Ultra LITH KrF，并于9月成功交付中國頭部邏輯客戶。
據(jù)介紹，Ultra LITH KrF采用盛美上海自主創(chuàng)新、并已獲得全球?qū)＠暾埍Ｗo(hù)的垂直交叉式結(jié)構(gòu)設(shè)計。該設(shè)備配備12個旋涂腔和12個顯影腔（12C12D），搭載54塊可精確控溫的熱板，產(chǎn)能超過300WPH，并集成背面顆粒去除（BPRV）及晶圓級異常檢測（WSOI）模塊，有效保障工藝穩(wěn)定性和生產(chǎn)良率。
（JSSIA整理）