晶盛機(jī)電12英寸SiC中試線通線
9月26日，根據(jù)晶盛機(jī)電消息，其子公司浙江晶瑞SuperSiC首條12英寸碳化硅襯底加工中試線正式通線。
相較8英寸產(chǎn)品，12英寸SiC襯底單片晶圓產(chǎn)出量提升約2.5倍，可顯著降低長晶、加工和拋光等環(huán)節(jié)的單位成本，被視為推動下游應(yīng)用降本增效的重要路徑。
晶盛機(jī)電表示，此次貫通的中試線覆蓋晶體加工、切割、減薄、倒角、研磨、拋光、清洗及檢測全流程工藝，所有環(huán)節(jié)均采用國產(chǎn)設(shè)備與自主技術(shù)。其中，高精密減薄機(jī)、倒角機(jī)、雙面精密研磨機(jī)等核心設(shè)備均由公司多年研發(fā)攻關(guān)完成。
（JSSIA整理）